Objectif

Le but de ce laboratoire est de contrôler, caractériser et/ou valider les produits réalisés et process de fabrication par différentes moyens d'analyse, principalement non invasifs.

Une réponse à vos besoins :

Caractériser un micro-assemblage ou un matériau

Contrôler une étape de fabrication

Analyser une défaillance

Des avantages clés :

Equipements non invasifs

Outils et méthodes d?analyse complémentaires (optiques, mécaniques, électriques ...)

Description générale

Il s'agit d'un atelier dédié à la caractérisation des micro-assemblages et des matériaux.

Ces moyens de caractérisation regroupent des ressources en imagerie, en tests de fiabilité sous différents types de stress ainsi qu'un ensemble d'équipements conventionnels pour la microélectronique-couches-minces.

Equipements disponibles

Imagerie

MEB

Microscopie Raman

AFM

Microscopie acoustique

X-Ray, avec possibilité de Tomographie

Tests de fiabilité sous stress

Mécanique

Thermique

Electrique

Chimique (étuves)

Couches minces

Profilomètre

Ellipsomètre

Testeurs électriques sous pointe