Le but de ce laboratoire est de contrôler, caractériser et/ou valider les produits réalisés et process de fabrication par différentes moyens d'analyse, principalement non invasifs.
Une réponse à vos besoins :
Caractériser un micro-assemblage ou un matériau
Contrôler une étape de fabrication
Analyser une défaillance
Des avantages clés :
Equipements non invasifs
Outils et méthodes d?analyse complémentaires (optiques, mécaniques, électriques ...)
Il s'agit d'un atelier dédié à la caractérisation des micro-assemblages et des matériaux.
Ces moyens de caractérisation regroupent des ressources en imagerie, en tests de fiabilité sous différents types de stress ainsi qu'un ensemble d'équipements conventionnels pour la microélectronique-couches-minces.
Imagerie
MEB
Microscopie Raman
AFM
Microscopie acoustique
X-Ray, avec possibilité de Tomographie
Tests de fiabilité sous stress
Mécanique
Thermique
Electrique
Chimique (étuves)
Couches minces
Profilomètre
Ellipsomètre
Testeurs électriques sous pointe
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