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Plates-Formes R&D
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Contexte

Concentrée dans le bassin de Rousset-Peynier (Bouches-du-Rhône), la production régionale de semi-conducteurs exige une optimisation continue de la qualité des technologies développées et produites dans ses lignes de fabrication. Face à la concurrence mondiale, le succès de sa compétitivité s'effectue autant sur le coût de revient que sur la valeur ajoutée.



Objectifs

La plate-forme Caractérisation du CIM PACA fournit les moyens nécessaires pour soutenir la conception, le test et la validation de nouvelles technologies préindustrielles qui conjuguent, au plus haut niveau de performance, qualité, rendement et fiabilité.

Le partenariat essentiel entre la recherche et l'industrie qui sera renforcé grâce à cette plate-forme porte sur le développement de méthodes et d'outils de caractérisation physico-chimique et électrique des technologies à base de mémoires non volatiles.

Thématiques de R&D

Caractérisation physique, chimique et électrique

Analyse de Défaillance

Métrologie

Ultra propreté

Service


          La plate-forme assure des prestations de service dans les domaines de:

  • la caractérisation physico-chimique des matériaux
  •  l’analyse de défaillance des composants

            Ces prestations sont proposées:

  • à ses Membres cotisants (Air Liquide, Aix-Marseille Université, Atmel, Biophy Research, IBS, Nexcis, Presto Engineering, Probion Analysis, STMicroelectronics, Tera Environnement)

  • aux entités tierces non-membres sur demande (prestations extérieures)


            Les équipements de la plate-forme sont opérés par des spécialistes issus des Membres, ce qui permet de réaliser des prestations complètes (avec fourniture d’un rapport d’analyse détaillé)


  La plate-forme bénéficie d’un agrément au titre du Crédit Impôt Recherche (CIR): en conséquence, les travaux de R&D peuvent être pris en compte dans le cadre du crédit d’impôt recherche


          Pour plus d’informations, contacter:



Vincent Goubier - Directeur

Bureau: +33 (0)4 42 68 51 60

Mobile: +33 (0)6 47 23 84 75

E-mail:vincent.goubier@caracterisation.org

Internet: www.pf-caracterisation.org


Moyens disponibles et offre de service


Equipements / Techniques :  

Analyse chimique et Métrologie : D-SIMS, ToF-SIMS, Micro Auger, XPS, ellipsomètre, profilomètre mécanique, profilomètre optique 3D, AFM

Ultra propreté : VPD/ICP-MS, ATD GC MS, WOS, PTR-MS, bancs de contamination

Analyse physique : FIB dual beam, TEM, SEM, amincisseur ionique

Analyse de défaillance : banc de microscopie à émission de lumière statique et dynamique et de stimulation laser thermique et photoélectrique, nanoprobing, thermographie infrarouge, décapsulation laser

Caractérisation électrique : Banc de test faible courant, banc de test d’électromigration, wafer tester




 





Conférence du 24 novembre 2011 sur les techniques de Micro-Analyse mises en œuvre par la Plate-forme Caractérisation CIMPACA



La Plate-forme Caractérisation CIMPACA a été heureuse de vous inviter à une conférence sur les différentes techniques de Micro-Analyse qu’elle est capable de mettre en œuvre pour répondre à vos besoins.

Au travers de 8 présentations proposées sur une après-midi complète, des spécialistes des organisations membres de la plate-forme vous ont exposé de façon détaillée les principes de chaque technique disponible (D-SIMS, ToF-SIMS, Atom Probe, EDX, AES, XPS, LEEM-PEEM, EELS, HAADF), leurs spécificités, les types d’échantillon analysables ainsi que des exemples applicatifs (applications déjà existantes ou applications possibles sur demande).

La conférence a été une excellente opportunité pour tout ingénieur, chercheur et technicien Process, Equipement, Produit et R&D des organisations membres de la plate-forme, de découvrir ou mieux connaître les puissants moyens de micro-analyse à sa disposition en local pour l’aider à résoudre ses problèmes dans ses activités journalières ou ses travaux de fond.



Poster SIMS XVII 2009 Toronto


Fichier(s) à télécharger :

Poster_SIMS_XVII_2009_Toronto.pdf

598 K

 

Poster CIMDOPANT - septembre 2008


Fichier(s) à télécharger :

Poster_CIMDOPANT_-_septembre_2008.pdf

534 K

 

CIMDOPANT SIMS Journal Materials Letters


Fichier(s) à télécharger :

Papier_CIMDOPANT_SIMS__journal_Materials_Letters_.doc

207 K

 

Membres fondateurs

Biophy Research

IBS

STMicroelectronics

Université Paul Cézanne (Aix-Marseille 3)

Membres associés et partenaires

Entreprises :

ATMEL

Kemesys

Nexcis

Presto Engineering

Orsay Physics

Probion

Rockwood Wafer reclaim

Silios

Tera Environnement

Vegatec

Air Liquide Balasz

Laboratoires publics :

CEREGE

LP3

Institut Fresnel

CiNaM

LCP

IM2NP


Financeurs

Les équipements de la plate-forme sont mutualisés par les industriels et ont été co-financés par:

    F.E.D.E.R.









Localisation

Rousset (Bouches-du-Rhône)

Contact


caracterisation@arcsis.org

BP 19, Place Paul Borde

13790 Rousset - France

Tél: +33 (0)4 42 53 81 50

Fax: +33 (0)4 42 53 81 51

                                    

Vincent Goubier - Directeur
Bureau: +33 (0)4 42 68 51 60

Mobile: +33 (0)6 47 23 84 75

E-mail:vincent.goubier@caracterisation.org









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